Usinage ionique, RIBE, CAIBE

  • Sources ICP avec faisceau de 14 cm ou de 20 cm
  • Densité de courant jusqu’à 4 mA/cm2
  • Energie de 100 à 1000 eV

Pompage automatique

  • Pompes sèches ou à palettes
  • Pompe turbomoléculaire conventionnelle ou à paliers magnétiques
  • Pompe cryogénique

Porte-échantillons

  • Porte-substrat refroidi, planétaire, tiltant

Sas de transfert manuel ou automatique

Contrôleurs de fin de gravure

  • Interférométrie
  • SIMS

Références applicatives

  • M RAM
  • Usinage de matériaux de transition
  • Micropointes
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