Pulverisationweb42.fr@gmail.com2017-03-22T14:15:22+01:00
Tous types de machines
- Enceintes cylindriques ou parallélépipédiques
- Accès par porte frontale ou par platine supérieure
- Enceintes standard, diamètre 300, 450, 600, 900 mm
- Sas de transfert simple ou à cassette
- Pulvérisation vers le haut ou vers le bas (sputter up/down)
- Cathodes RF/DC circulaires ou rectangulaires
- Clusters pour systèmes confocaux, co-pulvérisation
- Pulvérisation réactive
- Dépôts statiques, dynamiques, planétaires, double planétaires (satellitaire) et oscillants
- Polarisation RF du susbtrat avant et pendant le dépôt
- Températures de substrats jusqu’à 1000°C
Références applicatives
- Monocouches
- Multicouches
- Couches magnétiques
- Couches optiques
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