Évaporation
Lignes de produits ME et MEB

  • Précédés lift-off
  • Transistors HMET, PHMET
  • Guide d’ondes IR 
  • Barrières thermiques
  • Matériaux magnétiques
  • Encapsultion MEMS
  • Circuits Josephson

Pulvérisation
Ligne de produit MP

  • Monocouches
  • Multicouches
  • Couches magnétiques
  • Couches optiques
  • Pulvérisation réactive

Usinage ionique
Lignes de produits MG and MU

  • M-RAM
  • Interfaces
  • Micro pointes

Croissance diamant par MW-PACVD

  • Diamant de qualité électronique
  • Vitesse de croissance élevée
  • Monocristal (gemme)
  • Polycristal
  • Doppage azote ou bore
  • 2.45 GHz – 6 kW

Machines spéciales

  • Dépôt DLC
  • Couches d’interface
  • Evaporation multi-substrats

Qubits – Systèmes multi-chambres

  • Qubits
  • Procédés multi-technologies

Machines en boîte à gants

  • Materiaux organiques
  • Capteurs

Pilotage informatique

  • Gestion machine par PC
  • Windows 7 avec back-up
  • Multi-utilisateurs