Systèmes intégrés dans des boîtes à gants

Nous pouvons intégrer tous nos systèmes de dépôt de couches minces dans des boîtes à gants. Ces systèmes sont dédié à la recherche et aux développements de technologies émergentes tel que:

  • Piles au lithium
  • OLED / PLED
  • Biologie

Les boîtes à gants sont standard ou sur mesure. Leur conception modulaire garantit:

  • Flexibilité
  • Ergonomie
  • Fiabilité

PLASSYS propose une grande variété de systèmes intégrés dans des boîte à gants:

  • Système de pulvérisation
  • Système d’évaporation (thermique ou canon à électrons)
  • Toute combinaison de sources à l’intérieur d’une chambre unique ou dans deux chambres différentes, le tout intégré dans une boîte à gants unique

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Caractéristiques des réacteurs

  • Chambre à cloche en pyrex,  avec élévateur électrique en option
  • Chambre en acier inoxydable avec porte coulissante (porte service à l’arrière pour faciliter l’entretien)
  • Chambre avec sas intégré pour le chargement des échantillons sous atmosphère contrôlée
  • Système pneumatique coulissant pour l’ouverture et le verrouillage de la porte
  • Sécurisés contre les mises à l’atmosphère grâce aux capteurs de pression à l’intérieur de la boîte à gants et de la chambre à vide
  • Ouverture sécurisée de la porte arrière pour éviter toute exposition accidentelle à l’air
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