Systèmes intégrés dans des boîtes à gants

Nous pouvons intégrer tous nos systèmes de dépôt de couches minces dans des boîtes à gants. Ces systèmes sont dédié à la recherche et aux développements de technologies émergentes tel que:

• Piles au lithium
• OLED / PLED
• Biologie

Les boîtes à gants sont standard ou sur mesure. Leur conception modulaire garantit:

• Flexibilité
• Ergonomie
• Fiabilité

PLASSYS propose une grande variété de systèmes intégrés dans des boîte à gants:

• Système de pulvérisation
• Système d’évaporation (thermique ou canon à électrons)
• Toute combinaison de sources à l’intérieur d’une chambre unique ou dans deux chambres différentes, le tout intégré dans une boîte à gants unique

Caractéristiques des réacteurs

• Chambre à cloche en pyrex,  avec élévateur électrique en option
• Chambre en acier inoxydable avec porte coulissante (porte service à l’arrière pour faciliter l’entretien)
• Chambre avec sas intégré pour le chargement des échantillons sous atmosphère contrôlée
• Système pneumatique coulissant pour l’ouverture et le verrouillage de la porte
• Sécurisées contre les mises à l’atmosphère grâce aux capteurs de pression à l’intérieur de la boîte à gants et de la chambre à vide
• Ouverture sécurisée de la porte arrière pour éviter toute exposition accidentelle à l’air