Systèmes intégrés dans des boîtes à gants
Nous pouvons intégrer tous nos systèmes de dépôt de couches minces dans des boîtes à gants. Ces systèmes sont dédié à la recherche et aux développements de technologies émergentes tel que:
- Piles au lithium
- OLED / PLED
- Biologie
Les boîtes à gants sont standard ou sur mesure. Leur conception modulaire garantit:
- Flexibilité
- Ergonomie
- Fiabilité
PLASSYS propose une grande variété de systèmes intégrés dans des boîte à gants:
- Système de pulvérisation
- Système d’évaporation (thermique ou canon à électrons)
- Toute combinaison de sources à l’intérieur d’une chambre unique ou dans deux chambres différentes, le tout intégré dans une boîte à gants unique
Caractéristiques des réacteurs
- Chambre à cloche en pyrex, avec élévateur électrique en option
- Chambre en acier inoxydable avec porte coulissante (porte service à l’arrière pour faciliter l’entretien)
- Chambre avec sas intégré pour le chargement des échantillons sous atmosphère contrôlée
- Système pneumatique coulissant pour l’ouverture et le verrouillage de la porte
- Sécurisées contre les mises à l’atmosphère grâce aux capteurs de pression à l’intérieur de la boîte à gants et de la chambre à vide
- Ouverture sécurisée de la porte arrière pour éviter toute exposition accidentelle à l’air