Croissance diamant par MW-PACVD

Le SSDR 150 est un réacteur de dépôt assisté par plasma micro-onde, destiné à la synthèse de films et gemmes de diamant CVD.  Grâce à l’utilisation d’un plasma de haute densité de puissance, ce réacteur permet l’élaboration du diamant de très haute pureté, à forte vitesse de croissance. Résultante du travail poussé de R&D sa conception optimisée de point de vue micro-onde et plasma, fait de la SSDR150 un réacteur fiable et robuste, parfaitement adapté aux besoins des laboratoires de R&D et des industries (joaillerie, applications mécaniques, microélectronique).

Caractéristiques du réacteur SSDR150

  • Réacteur plasma à haute densité de puissance
  • Haute pression de fonctionnement, jusqu’à 400 mbar ou plus
  • Générateur micro-onde 6 kW (mode pulsé sur demande)
  • Quatre lignes de gaz  (des lignes supplémentaires sur demande)
  • Porte-substrat 2″  refroidi
  • Ajustement automatique de la hauteur du porte substrat au cours de la croissance (en option)
  • Chargement/déchargement facile du substrat
  • Pyromètre IR bi-chromatique (475 – 1475°C)
  • Pompe turbo moléculaire + pompe primaire sèche
  • Vide limite inférieur à 5 x 10-7 mbar
  • Procédé entièrement automatisé
  • Faible entretien

Performances du réacteur SSDR150

Diamant polycristallin

  • Pas d’azote visible dans la PL à la température de LN2

Diamant monocristallin

  • Pas de centres d’azote visibles dans PL à temperature LN2
  • Faible concentration d’azote [NS0] (mesurée par EPR)
  • FWHM de la ligne Raman de diamant à 1332 cm-1 : 1.6 cm-1
  • Pas d’absorption infrarouge de 4000 à 10000 cm-1
  • Vitesse de croissance jusqu’à 15 µm/h, en fonction des conditions de croissance

Sélection d’articles d’institutions prestigieuses qui font confiance dans nos systèmes MW-PACVD pour la croissance de leur cristaux de diamant CVD :

  1. Microwave engineering of plasma-assisted CVD reactors for diamond deposition

http://iopscience.iop.org/article/10.1088/0953-8984/21/36/364202/meta

  1. Growth of large size diamond single crystals by plasma assisted chemical vapour deposition: Recent achievements and remaining challenges

http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S1631070512001429

  1. 2D inverse periodic opal structures in single crystal diamond with incorporated silicon-vacancy color centers

http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0925963516302795

  1. Thermal conductivity of free-standing CVD diamond films by growing on both nuclear and growth sides

http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0925963516302746

  1. Thin large area vertical Schottky barrier diamond diodes with low on-resistance made by ion-beam assisted lift-off technique

http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0925963516306422

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PLASSYS-BESTEK soutenue par le Conseil Régional d’IDF

La Région Île-de-France soutient le développement des Petites et Moyennes Entreprises, en mobilisant une aide financière pour les accompagner durant 3 ans dans leurs stratégies de croissance.

PM’up soutient la croissance des PME qui souhaitent :

  • Accroître, moderniser leur outil de production
  • Diversifier leurs activités
  • Conquérir de nouveaux marchés
  • Renforcer leur chaîne de valeur (organisation, management, stratégie, qualité, etc.)
  • Mettre en place une démarche de transformation numérique et écologique

PLASSYS-BESTEK est lauréate PM’UP 2019

Le Conseil Régional d’Ile de France a été sensible à notre projet de croissance sur trois ans qui s’appuie sur :

  • Diversification de l’offre : développement du marché des machines de dépôt de couches minces de diamant MW-PECVD.
  • Investissement sur les activités : modernisation et développement de l’infrastructure. Production des machines MW-PECVD. Renforcement des ressources humaines.

Ce projet de croissance développé sur 3 ans a permis au groupe d’obtenir une subvention de 250 000 €.

Les entreprises lauréates deviennent par ailleurs membres du Paris Région Business Club.

Ce réseau unique compte plus de 2 500 membres à qui il propose des opportunités d’affaires, des mises en relation exclusives, des occasions de partage d’expérience et de visibilité pour accompagner leur croissance en complément de l’aide financière régionale.