Croissance diamant par MW-PACVD

Le SSDR 150 est un réacteur de dépôt assisté par plasma micro-onde, destiné à la synthèse de films et gemmes de diamant CVD.  Grâce à l’utilisation d’un plasma de haute densité de puissance, ce réacteur permet lélaboration du diamant de très haute pureté, à forte vitesse de croissance. Résultante de la collaboration entre PLASSYS et le laboratoire CNRS LIMHP à Villetaneuse, sa conception optimisée de point de vue micro-onde et plasma, fait de la SSDR150 un réacteur fiable et robuste, parfaitement adapté aux besoins des laboratoires de R&D.

Caractéristiques du réacteur SSDR150

  • Réacteur plasma à haute densité de puissance
  • Haute pression de fonctionnement, jusqu’à 300 mbar ou plus
  • Générateur micro-onde 6 kW (mode pulsé sur demande)
  • Quatre lignes de gaz  (des lignes supplémentaires sur demande)
  • Porte-substrat 2″  refroidi
  • Ajustement automatique de la hauteur du porte substrat au cours de la croissance (en option)
  • Chargement/déchargement facile du substrat
  • Pyromètre IR bi-chromatique (475 – 1475°C)
  • Pompe turbo moléculaire + pompe primaire sèche
  • Vide limite inférieur à 5 x 10-7 mBar
  • Procédé entièrement automatisé
  • Faible entretien

 

Performances du réacteur SSDR150

Diamant polycristallin

  • Pas d’azote visible dans la PL à la température de LN2

Diamant monocristallin

  • Pas de centres d’azote visibles dans PL à temperature LN2
  • Faible concentration d’azote [NS0] (mesurée par EPR)
  • FWHM de la ligne Raman de diamant à 1332 cm-1 : 1.6 cm-1
  • Pas d’absorption infrarouge de 4000 à 10000 cm-1
  • Vitesse de croissance jusqu’à 10 µm/h, en fonction des conditions de croissance

 

Sélection d’articles d’institutions prestigieuses qui font confiance dans nos systèmes MW-PACVD pour la croissance de leur cristaux de diamant CVD :

  1. Microwave engineering of plasma-assisted CVD reactors for diamond deposition

http://iopscience.iop.org/article/10.1088/0953-8984/21/36/364202/meta

 

  1. Growth of large size diamond single crystals by plasma assisted chemical vapour deposition: Recent achievements and remaining challenges

http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S1631070512001429

 

  1. 2D inverse periodic opal structures in single crystal diamond with incorporated silicon-vacancy color centers

http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0925963516302795

 

  1. Thermal conductivity of free-standing CVD diamond films by growing on both nuclear and growth sides

http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0925963516302746

 

  1. Thin large area vertical Schottky barrier diamond diodes with low on-resistance made by ion-beam assisted lift-off technique

http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0925963516306422

 

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